iXL 系列低能耗緊湊型干式泵適用于輕型應用，例如晶片處理、PVD 和計量等。

• ·快速腔體抽空和低功耗 
• ·iXL600(N) 和 iXL1000(N) 干式泵是輕型應用中非常小、非常安靜的泵 
• ·iXL600M 和 iXL1000M 兩種型號經過工藝加固，專門設計用于電介質（氧化）蝕刻和其他類似應用 
• ·iXL600(N) 和 iXL1000(N) 干式泵具有高抽取速度和低能耗的特點
• ·iXL900R 適用于真空鎖室抽空應用，速度優于同類產品。這款新型的泵特別適用于等離子蒸汽沉積 (PVD) 應用的大型真空鎖室的抽空，可幫助客戶顯著降低運營成本并縮短安裝時間。此外，該泵可減少每個真空鎖室所需的泵數，進而可縮短安裝時間、降低系統化成本、減少維護以及耗電和耗氣量。
• ·“綠色模式”可減少閑置期間的公共設施使用、降低成本并有助于提高環境績效