一般來說,泵是給一邊給流體施加壓力和速度,一邊輸送的設備。
真空技術中所說的泵,賦予了比這個更廣泛的意義。
一些常見的泵定義是將真空設備中的氣體輸送到較高壓力的外部并排放。例如,像油回轉真空泵或羅茨泵那樣的機械式真空泵,又或者是像油擴散泵或噴射泵那樣的蒸氣噴射式真空泵。另外,如果不是將氣體運到外部,而是只抓到氣體分子,這相對于氣體來說是被動的,嚴格來說可能不能叫做泵。這些利用了吸氣作用的真空泵或利用了低溫下的吸附、凝結作用的真空泵等。
也就是說,真空泵是可以具有去除氣體功能的裝置。
根據工作原理,真空泵大致可以分為氣體輸送式真空泵和氣體儲存式真空泵。
總結這些真空泵的種類,如圖所示。
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