nXDS6i 是下一代無(wú)油的干式渦旋泵，并取代 XDS5。與傳統(tǒng) XDS 泵相比，nXDS 性能更強(qiáng)，抽速更高，極限壓力更低，功耗更低，噪聲更小。氣鎮(zhèn)允許泵送冷凝性蒸汽，包括水、溶劑、稀酸和堿。nXDS 還采用了新的端部密封，延長(zhǎng)了端部密封更換的時(shí)間間隔。具有自動(dòng)電壓輸入感知功能的集成變頻器驅(qū)動(dòng)提供整體優(yōu)化的泵送性能，nXDS 泵可進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)維修。

• 一般清潔泵送應(yīng)用
• 電子掃描顯微鏡 - SEM
• 射束線和高能物理
• 前級(jí)渦輪泵
• 速離心機(jī)
• 覆層
• 低溫學(xué)
• 脫氣/硫化 - 油，環(huán)氧樹脂
• 蒸餾/萃取/過濾
• 冷凍干燥
• 熔爐
• 凝膠體干燥
• 實(shí)驗(yàn)室工作臺(tái)上真空
• 激光、氣體回收和再循環(huán)
• 氦檢漏儀
• 負(fù)載鎖和傳輸腔
• 稀有氣體再循環(huán)
• 稀有氣體回收
• 冷凍制造
• 旋轉(zhuǎn)離心蒸發(fā)器
• SEM/FIB（離子束維修）
• 溶劑回收
• 表面科學(xué)儀器

• 真空外殼中不需要使用潤(rùn)滑劑，密封可徹底的清潔和干燥真空，防止交叉污染
• 無(wú)大氣壓到真空的軸封可使軸承隔離，從而阻止制程攻擊，軸承也能以更低溫度運(yùn)行，使用時(shí)間更長(zhǎng)
• 簡(jiǎn)單的單側(cè)滾軸布置電機(jī)和軸承設(shè)計(jì)相結(jié)合，只需低程度的工具，就能實(shí)現(xiàn)輕松的現(xiàn)場(chǎng)服務(wù)，因此可降低運(yùn)行成本，盡可能延長(zhǎng)正常運(yùn)行時(shí)間
• 改進(jìn)了電機(jī)和傳動(dòng)效率，可降低功耗和運(yùn)行成本
• 的接口提供了傳統(tǒng)、模擬和數(shù)字控制方法，可通過 USB、RS232 或 RS485 實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程控制/監(jiān)視

額定轉(zhuǎn)速	1800 rpm
排量	6.2 m3h-1  /  3.6 ft3min-1
峰值抽速	6.2 m3h-1  /  3.6 ft3min-1
極限真空（總壓力）	0.020 mbar / 0.015 Torr
待機(jī)旋轉(zhuǎn)速度	1200 rpm
速度控制精度（以全速百分比表示）	1%
轉(zhuǎn)速時(shí)的抽速	4.1
大連續(xù)入口壓力	200 mbar
電機(jī)功率（一相）	260 W
電源連接器 1 相	IEC EN60320 C13
的保險(xiǎn)絲	10A，250Vac rms
重量	26.2 kg  /  58 lb
入口法蘭	NW25
排氣口法蘭	NW25
噪聲級(jí)別	52 dB(A)
入口法蘭處的震動(dòng)	< 4.5 mms-1   (rms)
密封性（靜態(tài)）	< 1x10-6 mbar ls-1
操作溫度范圍	10 至 40 °C  /  41 至 104 °F